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UV光解廢氣淨化設備是利用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生遊離氧(即活性氧)，因遊離氧所攜帶正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧具有很強的氧化性，通過臭氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協同光解氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳。